上海邦泉泵業(yè)制造有限公司專業(yè)的含氟廢水輸送泵廠家。
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半導(dǎo)體行業(yè)業(yè)務(wù)涉及刻蝕、薄膜沉積、CMP、清洗、量檢測等芯片制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)的設(shè)備及零部件。半導(dǎo)體行業(yè)中產(chǎn)生氫氟酸的主要原因是在制造過程中使用氫氟酸進行清洗和蝕刻工藝。在半導(dǎo)體制造過程中，氫氟酸被廣泛用于清洗和蝕刻工藝。具體來說，氫氟酸在濕法蝕刻和薄膜工序中被用來蝕刻晶片。這些工藝過程中使用的含氟化學(xué)品會產(chǎn)生含氟廢水，其中主要污染物包括pH值、氟化物和懸浮固體（SS）。
此外，氫氟酸在半導(dǎo)體制造中的具體應(yīng)用還包括：
清洗工藝：去除晶片表面的雜質(zhì)和污染物。
蝕刻工藝：通過化學(xué)反應(yīng)去除晶片表面的特定區(qū)域，形成所需的電路圖案。
這些工藝步驟對于制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件至關(guān)重要，而氫氟酸因其強氧化性和腐蝕性，在這些步驟中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。
碳化硅根據(jù)成型方式不同，大致可以分為四種：無壓燒結(jié)碳化硅，熱壓燒結(jié)碳化硅，熱等靜壓燒結(jié)碳化硅，反應(yīng)燒結(jié)碳化硅。
在介紹氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅之前，我們簡單了解一下4種成型方式的特點和區(qū)別。
力學(xué)性能方面，熱壓燒結(jié)和熱等靜壓燒結(jié)碳化硅的相對密度、抗張強度都要高一些，反應(yīng)燒結(jié)相對較低。但是碳化硅陶瓷的力學(xué)性能還能通過燒結(jié)中的添加劑的配比來進行調(diào)節(jié)。
總體來說，無壓燒結(jié)碳化硅陶瓷的綜合性能較好，但是要低于熱壓燒結(jié)以及熱等靜壓燒結(jié)的碳化硅。簡單分析完4中成型方式的碳化硅，再簡單介紹一下氟塑料磁力泵和不銹鋼磁力泵上用的碳化硅材料。
目前在氟泵上使用的碳化硅材料主要是反應(yīng)燒結(jié)碳化硅和無壓燒結(jié)碳化硅。主要制作成磁力泵中的泵體靜環(huán)、轉(zhuǎn)子軸、葉輪軸套、隔離套軸承等幾大類產(chǎn)品。作用是起到對磨、專遞磁扭矩的作用。
一般來說反應(yīng)燒結(jié)碳化硅的耐腐蝕性還是不錯的，抗張強度方面也是完全夠用的。但是在一些特殊工況介質(zhì)中，則需要無壓燒結(jié)碳化硅的材料，例如輸送燒堿、輸送磷酸、輸送硼酸、輸送氫氟酸等介質(zhì)。究其原因是因為反應(yīng)燒結(jié)碳化硅中有游離態(tài)的硅單質(zhì)和二氧化硅等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)不能耐受以上介質(zhì)的腐蝕，所以這些雜質(zhì)被腐蝕后，會破壞主體結(jié)構(gòu)，破壞表面光潔度，影響磁力泵的壽命。
